EM-30超高分辨率臺(tái)式掃描電鏡依托成熟的成像技術(shù)與硬件配置，兼顧檢測(cè)精度與使用實(shí)用性，核心硬件配置及關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)對(duì)標(biāo)檢測(cè)設(shè)備，整體性能穩(wěn)定均衡，適配各類常規(guī)微觀形貌檢測(cè)工作。

成像性能方面，設(shè)備核心分辨率為5nm@30kV SE，放大倍數(shù)區(qū)間為15倍至150000倍，可覆蓋低倍宏觀觀測(cè)到高倍微觀精細(xì)化檢測(cè)的全場(chǎng)景需求。設(shè)備搭載發(fā)叉式鎢絲陰極電子槍，標(biāo)配二次電子探測(cè)器，可按需選配EDS探測(cè)器，拓展成分檢測(cè)功能。加速電壓覆蓋1kV-30kV，支持1kV精準(zhǔn)步進(jìn)調(diào)節(jié)，適配不同材質(zhì)、不同精度樣品的檢測(cè)要求。

硬件結(jié)構(gòu)與操控配置上，設(shè)備搭載全自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)，X、Y軸可實(shí)現(xiàn)35mm馬達(dá)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)，支持0~45°馬達(dá)傾斜、360°電子束旋轉(zhuǎn)及Z軸5~50mm調(diào)節(jié)，搭配多規(guī)格通用樣品座，可適配多種尺寸樣品，最大支持60mm直徑、45mm高度試樣。設(shè)備配備渦輪分子泵與機(jī)械泵組合真空系統(tǒng)，抽真空時(shí)長(zhǎng)小于3分鐘，檢測(cè)效率高效。同時(shí)搭載Nano Station 4.0TM專用軟件，支持自動(dòng)聚焦、亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)等智能化功能，搭配操控桿、鼠標(biāo)、鍵盤三重操控模式，操作便捷性大幅提升。